X(unit=0.3mm) Y(unit=0.3mm) TIS(ppm) 0.00000 -80.00000 5.04071 12.00000 -79.00000 7.73629 11.00000 -79.00000 6.07193 10.00000 -79.00000 5.36595 9.00000 -79.00000 5.56898 8.00000 -79.00000 5.19162 7.00000 -79.00000 5.27966 6.00000 -79.00000 5.46425 5.00000 -79.00000 5.42179 4.00000 -79.00000 5.11376 3.00000 -79.00000 5.25854 2.00000 -79.00000 16.20000 1.00000 -79.00000 5.68680 -0.00000 -79.00000 5.13144 -1.00000 -79.00000 5.09851 -2.00000 -79.00000 5.41659 -3.00000 -79.00000 5.29382 -4.00000 -79.00000 5.61992 -5.00000 -79.00000 16.14963 -6.00000 -79.00000 5.04953 -7.00000 -79.00000 5.07004 -8.00000 -79.00000 4.98891 -9.00000 -79.00000 5.02547 -10.00000 -79.00000 5.13083 -11.00000 -79.00000 5.41388 -12.00000 -79.00000 5.00661 -17.00000 -78.00000 5.06552 -16.00000 -78.00000 5.14948 -15.00000 -78.00000 5.11142 -14.00000 -78.00000 5.11479 -13.00000 -78.00000 5.01830 -12.00000 -78.00000 5.07745 -11.00000 -78.00000 5.15349 -10.00000 -78.00000 5.23064 -9.00000 -78.00000 5.20097 -8.00000 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