X(unit=0.3mm) Y(unit=0.3mm) TIS(ppm) 0.00000 -80.00000 5.56081 12.00000 -79.00000 5.76403 11.00000 -79.00000 5.63824 10.00000 -79.00000 5.59483 9.00000 -79.00000 5.76998 8.00000 -79.00000 5.54783 7.00000 -79.00000 5.63606 6.00000 -79.00000 5.45946 5.00000 -79.00000 7.21632 4.00000 -79.00000 5.71703 3.00000 -79.00000 5.60061 2.00000 -79.00000 5.57603 1.00000 -79.00000 5.63824 -0.00000 -79.00000 5.54558 -1.00000 -79.00000 6.07422 -2.00000 -79.00000 5.83359 -3.00000 -79.00000 8.15276 -4.00000 -79.00000 5.79596 -5.00000 -79.00000 5.54200 -6.00000 -79.00000 5.52319 -7.00000 -79.00000 5.57022 -8.00000 -79.00000 5.66071 -9.00000 -79.00000 5.55723 -10.00000 -79.00000 6.05933 -11.00000 -79.00000 5.73012 -12.00000 -79.00000 5.54783 -17.00000 -78.00000 5.62303 -16.00000 -78.00000 6.50667 -15.00000 -78.00000 5.79970 -14.00000 -78.00000 6.75542 -13.00000 -78.00000 5.79821 -12.00000 -78.00000 5.69250 -11.00000 -78.00000 6.74602 -10.00000 -78.00000 5.60205 -9.00000 -78.00000 5.55356 -8.00000 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6.04992 9.00000 -77.00000 6.13697 8.00000 -77.00000 5.92206 7.00000 -77.00000 5.94646 6.00000 -77.00000 5.85803 5.00000 -77.00000 5.78088 4.00000 -77.00000 5.84299 3.00000 -77.00000 6.14797 2.00000 -77.00000 6.72040 1.00000 -77.00000 7.13442 -0.00000 -77.00000 5.67369 -1.00000 -77.00000 6.17465 -2.00000 -77.00000 7.10345 -3.00000 -77.00000 5.64911 -4.00000 -77.00000 5.96912 -5.00000 -77.00000 5.64547 -6.00000 -77.00000 5.58102 -7.00000 -77.00000 5.92765 -8.00000 -77.00000 5.67735 -9.00000 -77.00000 5.58543 -10.00000 -77.00000 5.58323 -11.00000 -77.00000 5.58179 -12.00000 -77.00000 5.51734 -13.00000 -77.00000 5.50438 -14.00000 -77.00000 5.48769 -15.00000 -77.00000 5.56440 -16.00000 -77.00000 6.59808 -17.00000 -77.00000 5.57238 -18.00000 -77.00000 5.46887 -19.00000 -77.00000 5.57238 -20.00000 -77.00000 5.40683 -21.00000 -77.00000 5.55356 -24.00000 -76.00000 5.56440 -23.00000 -76.00000 5.54200 -22.00000 -76.00000 6.39107 -21.00000 -76.00000 5.47616 -20.00000 -76.00000 5.50651 -19.00000 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